日期：
2021-05-05
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技术规格:
| 功能配置 | 技术参数 |
| 型 号 | VP-60L | VP-80L | VP-100L | VP-150L |
| 外型尺寸 (mm) | L=1200 W=920 H=1690 |
| 真空腔内尺寸 (mm) | L=403 W=400 H=403 | L=450 W=400 H=450 | L=470 W=460 H=470 | L=500 W=600 H=500 |
| 真空腔材质 | 不锈钢 |
| 电极板尺寸 (mm) | 319（L）×374（W） | 320（L）×420（W） | 380（L）×440（W） | 520（L）×470（W） |
| 电极板材质 | 专用铝电极 |
| 重 量 | 560KG | 580KG | 630KG | 680KG |
| 控 制 | PLC+ 触摸屏 |
| 电极板结构 | 水平 8 层 |
| 真空泵系统 | 两级油旋片真空泵、罗茨真空泵组 |
| 真空测定系统 | 皮拉尼电阻真空计 |
| 气体测量系统 | 高精密质量流量计 |
| 等离子发生器 | 高精密 0-500W 等离子发生器 | 高精密 0-1000W 等离子发 生器 |
| 等离子匹配器 | 高精密 0-500W 自动匹配器 | 高精密 0-1000W 自动匹配 器 |
| 工作真空度 | 10-100 Pa |
| 真空泵极限压力 | 5×10-1 Pa |
| 抽真空时间 | ≤ 55S | ≤ 70S | ≤ 80S | ≤ 100S |
| 破真空时间 | ≤ 15S | ≤ 20S | ≤ 25S | ≤ 30S |
| 气体控制范围 | 质量流量 0-300SCCM （可自选） | 质量流量 0-500SCCM( 可 自选 ) |
| 射频电源 | 0-500W（范围内可调） | 0-1000W（范围内可调） |
| 操作模式 | 人工取放，一键全自动操作 |
| 电 源 | 三相 380V |
| 总功率 | 4 KW | 4.5 KW |
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